【特徴】●気密性に優れています。【仕様】●型番：Σ200●ウェハー径（mm）：200●サイズ（mm）：271×271×243●収納数：25枚●材質：カバー／PC（ポリカーボネート）、カセット・ボトム／PP（ポリプロピレン）、ガスケット／エラストマー●材質（クッション）：PP（ポリプロピレン）

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